一种微小距离的测定方法

摘要

本发明公开了一种微小距离的测定方法，该方法首先将靶膜加载到靶膜支架上，将阻停膜加载到阻停膜支架上，靶膜和阻停膜形成平行板电容器，然后测量平行板电容器的电容值，最后根据所述的电容值计算得出靶膜与阻停膜之间的距离。本发明所述的微小距离测定方法，利用电容法对距离进行测量，通过测量靶膜与阻停膜之间的平行板电容器的电容可以精确地测出两膜之间的微小距离。

主权项

1.一种微小距离的测定方法，包括以下步骤：（1）将靶膜加载到靶膜支架上，将阻停膜加载到阻停膜支架上，靶膜和阻停膜形成平行板电容器；（2）测量所述的平行板电容器的电容值；（3）根据所述的电容值计算靶膜与阻停膜之间的距离，理论计算公式为：其中，为靶膜与阻停膜之间的距离，为真空介质常数，为介质相对介电常数，为所述平行板电容器的有效面积，所述的电容值。