缝隙流稳定性控制装置

摘要

本发明公开了一种缝隙流稳定性控制装置，其特征在于，缝隙流稳定性控制装置是在透镜组和基底之间设置的装置，通过在注液腔下方设置导流槽阵列，回收腔两端和外侧设置回外收阻尼排孔，有助于维持观测区域稳定可靠的液体连续更新状态。注液腔输入的液体在导流槽阵列引导下，形成均匀指向回收腔的射流，液体流动均匀稳定。在基底运动工况下，内回收阻尼排孔起到了辅助回收的作用，而外回收阻尼排孔实时吸收可能泄漏的液滴，由此形成了多层的液体回收屏障。此外，由于本装置流场外围不需要采用密封，在简化系统的同时，避免了外加能量对流场边界的冲击，系统的稳定性和可靠性好。

主权项

一种缝隙流稳定性控制装置，在透镜组（2）和基底（4）之间设置的缝隙流稳定性控制装置（3）；其特征在于，所述的缝隙流稳定性控制装置（3）包括中心开有柱状观测腔（6）的主体结构（6A）和挡板（6B）；其中：所述主体结构（6A）的一侧开有垂直于基底的注液腔（8A），为弧度取30～150°的环形圆柱腔体；注液腔（8A）与观测腔（7）之间的下方环状表面上，开有由5～30个柱状凹槽组成的导流槽阵列（8B），两侧端点与观测腔（7）中心形成的导流槽阵列（8B）弧度α为30～150°；所述主体结构（6A）的另一侧开有垂直于基底的回收腔（9A），为弧度取30～150°的环形圆柱腔体；回收腔（9A）的环形边界两端开有2个内回收阻尼排孔（9B），为弧度取15～90°的环形排孔阵列，内回收阻尼排孔（9B）的内径和外径与回收腔（9A）相同；回收腔外侧开有外回收阻尼排孔（9C），为弧度取30～210°的环形排孔阵列；注液腔（8A）与内回收阻尼排孔（9B）和外回收阻尼排孔（9C）不连通；导流槽阵列（8B）与内回收阻尼排孔（9B）和外回收阻尼排孔（9C）不连通；2）挡板（6B）：为弧度取30～160°的环形片状结构，挡板（6B）的弧度不小于导流槽阵列（8B）的弧度；所述的主体结构（6A）与设置在导流槽阵列（8B）下方的挡板（6B）之间为平面结合。