具有可变电容元件的电子设备及其制造方法

摘要

本发明提供一种能够可靠地控制可动电极的动作的可变电容元件。具有可变电容元件的电子设备具有：给予物理性支承的支承基板；一对固定部件，其被形成在支承基板上，并且具有与支承基板表面垂直方向的支承部；可动电极，其被一对固定部件的支承部支承，对置的第一侧面和第二侧面构成电极面，并且至少一部分能够弹性变形；第一固定电极，其被支承在支承基板上，具有与可动电极的第一侧面对置的第一电极面；以及第二固定电极，其被支承在支承基板上，具有与可动电极的第二侧面对置的第二电极面。

主权项

一种具有可变电容元件的电子设备，其中，所述电子设备具有：支承基板，所述支承基板给予物理性支承；一对固定部件，所述一对固定部件被形成在所述支承基板上，具有与所述支承基板表面垂直的方向的支承部；可动电极，所述可动电极被所述一对固定部件的支承部支承，所述可动电极的对置的第一侧面和第二侧面构成电极面，所述可动电极的至少一部分能够弹性变形；第一固定电极，所述第一固定电极被支承在所述支承基板上，具有与所述可动电极的第一侧面对置的第一电极面；以及第二固定电极，所述第二固定电极被支承在所述支承基板上，具有与所述可动电极的第二侧面对置的第二电极面。