发明名称 半导体器件和该器件的制造方法
摘要 本发明公开了一种半导体器件和该器件的制造方法。该半导体器件包括N型场效应晶体管,该N型场效应晶体管包括衬底中的N沟道区。高介电常数(高k)层设置在N沟道区上。包括金属氧化物的扩散层设置在该高k层上。钝化层设置在该扩散层上,第一金属栅极设置在该钝化层上。该高k层和N沟道区包括金属氧化物的金属元素的金属原子。
申请公布号 CN103426928A 申请公布日期 2013.12.04
申请号 CN201310176515.2 申请日期 2013.05.14
申请人 三星电子株式会社 发明人 金柱然
分类号 H01L29/78(2006.01)I;H01L29/51(2006.01)I;H01L27/092(2006.01)I;H01L27/11(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I;H01L21/28(2006.01)I 主分类号 H01L29/78(2006.01)I
代理机构 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人 弋桂芬
主权项 一种半导体器件,包括N型场效应晶体管,该N型场效应晶体管包括:第一高介电常数层,设置在衬底上;包括金属氧化物的扩散层,设置在该第一高介电常数层上;钝化层,设置在该扩散层上;以及第一金属栅极,设置在该钝化层上。
地址 韩国京畿道