发明名称 |
半导体器件和该器件的制造方法 |
摘要 |
本发明公开了一种半导体器件和该器件的制造方法。该半导体器件包括N型场效应晶体管,该N型场效应晶体管包括衬底中的N沟道区。高介电常数(高k)层设置在N沟道区上。包括金属氧化物的扩散层设置在该高k层上。钝化层设置在该扩散层上,第一金属栅极设置在该钝化层上。该高k层和N沟道区包括金属氧化物的金属元素的金属原子。 |
申请公布号 |
CN103426928A |
申请公布日期 |
2013.12.04 |
申请号 |
CN201310176515.2 |
申请日期 |
2013.05.14 |
申请人 |
三星电子株式会社 |
发明人 |
金柱然 |
分类号 |
H01L29/78(2006.01)I;H01L29/51(2006.01)I;H01L27/092(2006.01)I;H01L27/11(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I;H01L21/28(2006.01)I |
主分类号 |
H01L29/78(2006.01)I |
代理机构 |
北京市柳沈律师事务所 11105 |
代理人 |
弋桂芬 |
主权项 |
一种半导体器件,包括N型场效应晶体管,该N型场效应晶体管包括:第一高介电常数层,设置在衬底上;包括金属氧化物的扩散层,设置在该第一高介电常数层上;钝化层,设置在该扩散层上;以及第一金属栅极,设置在该钝化层上。 |
地址 |
韩国京畿道 |