发明名称 台面保护门极-阴极PN结的可控硅芯片结构
摘要 台面保护门极-阴极PN结的可控硅芯片结构,属于可控硅芯片设计技术领域。包括硅衬底片,其特征是,所述硅衬底片上设有氧化层、玻璃钝化台面槽和门极引线孔、阴极引线孔,玻璃钝化台面槽内设有钝化玻璃层。所述硅衬底片为在N-单晶硅片上有完成隔离P+区、阳极P区和门极P区扩散以及阴极N+区。所述阴极N+区与门极P区间周边表面PN结设置在所述玻璃钝化台面槽内。本实用新型的效果是通过新的可控硅器件芯片结构设计,解决了芯片的IGT、VGT等参数的问题,提高了成品率以及后道封装的适应性和可靠性,增加了通态电流,降低了通态压降。同时采用这样的结构,可减小芯片面积,提高硅片的利用率,降低芯片生产成本。
申请公布号 CN203325911U 申请公布日期 2013.12.04
申请号 CN201320272788.2 申请日期 2013.05.20
申请人 扬州中芯晶来半导体制造有限公司 发明人 徐永平;何春海;王仁书;刘纪云
分类号 H01L29/74(2006.01)I;H01L29/06(2006.01)I 主分类号 H01L29/74(2006.01)I
代理机构 扬州苏中专利事务所(普通合伙) 32222 代理人 许必元
主权项 台面保护门极‑阴极PN结的可控硅芯片结构,包括硅衬底片,其特征是,所述硅衬底片上设有氧化层(4)、玻璃钝化台面槽(5)和门极引线孔(6)、阴极引线孔(7),玻璃钝化台面槽(5)内设有钝化玻璃层。
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