振动元件、振子、电子器件、振荡器以及电子设备

摘要

本实用新型提供振动元件、振子、电子器件、振荡器以及电子设备。抑制了台面型振动元件中产生的弯曲振动所引起的不必要振动，得到了CI较小的振动元件。在具有振动基板（10）和激励电极（20a）的振动元件中，振动基板（10）具有振动部（14）和外缘部（12），在振动部（14）的整个外周缘具有朝向外缘部（12）厚度逐渐减小的至少两级阶梯缘部。在设阶梯的级数为i、第i级的阶梯的长度为Mxi、最外侧的阶梯的长度为Mx，并且用Ex表示激励电极的长度、用λ表示弯曲振动的波长时，以满足如下两个式子的方式设定各个参数：－0.2＜（（Mxi－1－Mxi）/2－nλ/2）/（λ/2）＜0.2  （1）；－0.2＜（（Ex－Mx）－kλ/2）/（λ/2）＜0.2  （2）。

主权项

一种振动元件，其特征在于，该振动元件具有：基板，该基板包含：振动部，其以厚度剪切振动进行激励，包含设置在一个主面上的第1凸部以及设置在相对于所述一个主面处于背面侧的另一个主面上的第2凸部；至少两级以上的阶梯缘部，它们设置于所述第1凸部和所述第2凸部的与所述厚度剪切振动的振动方向交叉的方向的端部；以及外缘部，其沿着所述振动部的外缘配置，并且厚度比所述振动部的厚度薄；设置于所述第1凸部的表面的第1激励电极；和设置于所述第2凸部的表面的第2激励电极，在用2以上的正整数i来表示所述阶梯缘部的级数的情况下，在设第i级的阶梯缘部的沿着所述厚度剪切振动的振动方向的长度为Mxi、最外侧的阶梯缘部的沿着所述厚度剪切振动的振动方向的长度为Mx、第1级的阶梯缘部的沿着与所述厚度剪切振动的振动方向垂直的方向的长度为Mz、所述激励电极的沿着所述厚度剪切振动的振动方向的长度为Ex、所述激励电极的沿着与所述厚度剪切振动的振动方向垂直的方向的长度为Ez、在所述厚度剪切振动的振动方向上振动的弯曲振动的波长为λ时，满足下式：－0.2＜（（Mxi－1－Mxi）/2－nλ/2）/（λ/2）＜0.2    （1）－0.2＜（（Ex－Mx）－kλ/2）/（λ/2）＜0.2    （2）其中，n是正整数，k是整数。