发明名称 |
一种新型扩散用石英舟 |
摘要 |
本实用新型公开了一种新型扩散用石英舟,用于放置硅片,其包括舟体,所述舟体上设置有至少三个用于放置硅片的卡槽,所述某一卡槽与相邻卡槽之间的间距分别为L1和L2,其中L1>L2或L1<L2,并且所有卡槽之间的间距按照L1、L2、L1、L2依次间隔排列。L2为L1的1/2-1/7倍,或所述L1为L2的1/2-1/7倍。由于硅片正面之间的间距并未改变,因此本实用新型不会影响扩散的均匀性,新石英舟的结构结合插片方式,吸杂效果与传统插片方式a相同,电池效率较高,且产能远高于普通传统结构的石英舟结合插片方式a。新石英舟结构结合插片方式同时兼顾到电池效率、产能这两个普通石英舟结构无法兼顾的要求。 |
申请公布号 |
CN203325859U |
申请公布日期 |
2013.12.04 |
申请号 |
CN201320310293.4 |
申请日期 |
2013.05.31 |
申请人 |
中利腾晖光伏科技有限公司 |
发明人 |
陆俊宇;王志刚;易辉;汪燕玲;连维飞;魏青竹 |
分类号 |
H01L21/673(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/673(2006.01)I |
代理机构 |
苏州华博知识产权代理有限公司 32232 |
代理人 |
黄珩 |
主权项 |
一种新型扩散用石英舟,用于放置硅片,其特征在于,包括舟体,所述舟体上设置有至少三个用于放置硅片的卡槽,所述某一卡槽与相邻卡槽之间的间距分别为L1和L2,其中L1>L2或L1<L2,并且所有卡槽之间的间距按照L1、L2、L1、L2依次间隔排列。 |
地址 |
215542 江苏省苏州市常熟市沙家浜镇常昆工业园区腾晖路1号 |