发明名称 一种新型扩散用石英舟
摘要 本实用新型公开了一种新型扩散用石英舟,用于放置硅片,其包括舟体,所述舟体上设置有至少三个用于放置硅片的卡槽,所述某一卡槽与相邻卡槽之间的间距分别为L1和L2,其中L1>L2或L1<L2,并且所有卡槽之间的间距按照L1、L2、L1、L2依次间隔排列。L2为L1的1/2-1/7倍,或所述L1为L2的1/2-1/7倍。由于硅片正面之间的间距并未改变,因此本实用新型不会影响扩散的均匀性,新石英舟的结构结合插片方式,吸杂效果与传统插片方式a相同,电池效率较高,且产能远高于普通传统结构的石英舟结合插片方式a。新石英舟结构结合插片方式同时兼顾到电池效率、产能这两个普通石英舟结构无法兼顾的要求。
申请公布号 CN203325859U 申请公布日期 2013.12.04
申请号 CN201320310293.4 申请日期 2013.05.31
申请人 中利腾晖光伏科技有限公司 发明人 陆俊宇;王志刚;易辉;汪燕玲;连维飞;魏青竹
分类号 H01L21/673(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I 主分类号 H01L21/673(2006.01)I
代理机构 苏州华博知识产权代理有限公司 32232 代理人 黄珩
主权项 一种新型扩散用石英舟,用于放置硅片,其特征在于,包括舟体,所述舟体上设置有至少三个用于放置硅片的卡槽,所述某一卡槽与相邻卡槽之间的间距分别为L1和L2,其中L1>L2或L1<L2,并且所有卡槽之间的间距按照L1、L2、L1、L2依次间隔排列。
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