发明名称 |
光电子半导体芯片及其制造方法 |
摘要 |
提出了一种光电子半导体芯片。该半导体芯片具有半导体层序列(2),其具有在第一导电类型的层(21)和第二导电类型的层(22)之间的设计用于产生辐射的有源层(23)。第一导电类型的层(21)与半导体层序列(2)的前侧(110)相邻。半导体层序列(2)包含至少一个凹处(3),所述凹处从半导体层序列(2)的与前侧(110)对置的背侧(120)穿过有源层(23)延伸到第一导电类型的层(21)。第一导电类型的层(21)借助第一电连接层(5)穿过所述凹处(3)来电连接,其中第一电连接层(5)至少局部地覆盖半导体层序列(2)的背侧(120)。半导体芯片在所述凹处(3)的范围中包含过渡层(20),该过渡层具有第一导电类型的层(21)的材料和第一电连接层(5)的材料构成的材料组合物。此外,提出了一种用于制造这种半导体芯片的方法。 |
申请公布号 |
CN101971371B |
申请公布日期 |
2013.12.04 |
申请号 |
CN200980109048.3 |
申请日期 |
2009.03.13 |
申请人 |
欧司朗光电半导体有限公司 |
发明人 |
卡尔·恩格尔;卢茨·赫佩尔;帕特里克·罗德;马蒂亚斯·扎巴蒂尔 |
分类号 |
H01L33/00(2006.01)I;H01L29/45(2006.01)I;H01L21/225(2006.01)I |
主分类号 |
H01L33/00(2006.01)I |
代理机构 |
北京集佳知识产权代理有限公司 11227 |
代理人 |
朱胜;许伟群 |
主权项 |
一种光电子半导体芯片,具有:半导体层序列(2),其具有在第一导电类型的层(21)和第二导电类型的层(22)之间的、设计用于产生辐射的有源层(23),其中‑第一导电类型的层(21)与半导体层序列(2)的前侧(110)相邻,‑半导体层序列(2)包含至少一个凹处(3),所述凹处从半导体层序列(2)的与前侧(110)对置的背侧(120)穿过有源层(23)延伸到第一导电类型的层(21),‑借助第一电连接层(5)穿过所述凹处(3)来电连接第一导电类型的层(21),其中第一电连接层(5)至少局部地覆盖半导体层序列(2)的背侧(120),以及‑半导体芯片在所述凹处(3)的区域中包含过渡层(20),该过渡层具有第一导电类型的层(21)的材料和第一电连接层(5)的材料构成的材料组合物。 |
地址 |
德国雷根斯堡 |