发明名称 光电子半导体芯片及其制造方法
摘要 提出了一种光电子半导体芯片。该半导体芯片具有半导体层序列(2),其具有在第一导电类型的层(21)和第二导电类型的层(22)之间的设计用于产生辐射的有源层(23)。第一导电类型的层(21)与半导体层序列(2)的前侧(110)相邻。半导体层序列(2)包含至少一个凹处(3),所述凹处从半导体层序列(2)的与前侧(110)对置的背侧(120)穿过有源层(23)延伸到第一导电类型的层(21)。第一导电类型的层(21)借助第一电连接层(5)穿过所述凹处(3)来电连接,其中第一电连接层(5)至少局部地覆盖半导体层序列(2)的背侧(120)。半导体芯片在所述凹处(3)的范围中包含过渡层(20),该过渡层具有第一导电类型的层(21)的材料和第一电连接层(5)的材料构成的材料组合物。此外,提出了一种用于制造这种半导体芯片的方法。
申请公布号 CN101971371B 申请公布日期 2013.12.04
申请号 CN200980109048.3 申请日期 2009.03.13
申请人 欧司朗光电半导体有限公司 发明人 卡尔·恩格尔;卢茨·赫佩尔;帕特里克·罗德;马蒂亚斯·扎巴蒂尔
分类号 H01L33/00(2006.01)I;H01L29/45(2006.01)I;H01L21/225(2006.01)I 主分类号 H01L33/00(2006.01)I
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人 朱胜;许伟群
主权项 一种光电子半导体芯片,具有:半导体层序列(2),其具有在第一导电类型的层(21)和第二导电类型的层(22)之间的、设计用于产生辐射的有源层(23),其中‑第一导电类型的层(21)与半导体层序列(2)的前侧(110)相邻,‑半导体层序列(2)包含至少一个凹处(3),所述凹处从半导体层序列(2)的与前侧(110)对置的背侧(120)穿过有源层(23)延伸到第一导电类型的层(21),‑借助第一电连接层(5)穿过所述凹处(3)来电连接第一导电类型的层(21),其中第一电连接层(5)至少局部地覆盖半导体层序列(2)的背侧(120),以及‑半导体芯片在所述凹处(3)的区域中包含过渡层(20),该过渡层具有第一导电类型的层(21)的材料和第一电连接层(5)的材料构成的材料组合物。
地址 德国雷根斯堡