发明名称 |
一种基于聚酰亚胺基体的铝垫制备工艺 |
摘要 |
本发明提供一种基于聚酰亚胺基体的铝垫制造工艺,在半导体器件上淀积聚酰亚胺层,对聚酰亚胺层进行光刻形成沟槽图形;在半导体器件上依次淀积铝膜层和介电硬掩膜层,旋涂光刻胶,光刻光刻胶形成沟槽图形;对介电硬掩模层进行干法刻蚀,灰化去除光刻胶;干法刻蚀铝膜;旋涂聚酰亚胺层,光刻打开聚酰亚胺层,形成铝垫图形,后用干法刻蚀去除铝垫上介电硬掩模层。在本发明的制造中,省去去除光阻刻蚀铝膜后的灰化步骤,避免了对聚酰亚胺基体的损伤,减少引起窄铝连线倒塌的可能性。制造工艺也相对的简单,生产出的铝垫可以满足对铝垫改变布局的需要。 |
申请公布号 |
CN102420148B |
申请公布日期 |
2013.12.04 |
申请号 |
CN201110160356.8 |
申请日期 |
2011.06.15 |
申请人 |
上海华力微电子有限公司 |
发明人 |
谢欣云;黄晓橹;陈玉文 |
分类号 |
H01L21/60(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/60(2006.01)I |
代理机构 |
上海新天专利代理有限公司 31213 |
代理人 |
王敏杰 |
主权项 |
一种基于聚酰亚胺基体的铝垫制造工艺,其特征在于:在半导体器件所在的晶圆上覆盖第一聚酰亚胺层,并对第一聚酰亚胺层进行刻蚀形成第一开口,在第一开口中暴露作为半导体器件信号连接端子的铝垫;沉积一层铝膜至第一聚酰亚胺层上,部分铝膜同时淀积在第一开口中并覆盖在铝垫上;在铝膜上沉积一层介电硬掩膜层;刻蚀所述介电硬掩膜层,形成介电硬掩膜层中的第二开口;通过第二开口刻蚀铝膜,形成由铝膜构成的再分布铝垫和铝线;再沉积第二聚酰亚胺层覆盖所述介电硬掩膜层,同时部分第二聚酰亚胺还填充在铝膜被刻蚀掉而形成的沟槽中;刻蚀第二聚酰亚胺形成第二聚酰亚胺层中的第三开口,并进一步通过第三开口刻蚀介电硬掩膜层,以在第三开口中暴露再分布铝垫。 |
地址 |
201210 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号 |