一种椭偏仪系统参数的优化方法

摘要

本发明公开了一种椭偏仪系统参数优化方法，包括首先建立待优化椭偏仪的系统模型，并得到包含椭偏仪系统参数的矩阵W；然后计算椭偏仪系统矩阵W在不同椭偏仪系统参数下的条件数；再次计算出每个椭偏仪系统参数下矩阵W条件数的最大值与最小值的差值，并按差值从大到小顺序排列；最后根据差值的排列顺序，优化每个椭偏仪系统参数，重复n次优化后，选取排列最前的系统参数，求得其n次优化后最小条件数值与第n-1次优化时矩阵W最小条件数值之间的差值，当差值大小满足要求时，则认为第n次优化后的椭偏仪系统参数为当前椭偏仪的最优系统参数。本发明方法过程明确、简单，最优参数的选定标准灵活可变，可以适用于现有不同结构类型的椭偏仪的优化。

主权项

一种椭偏仪系统参数的优化方法，用于确定椭偏仪的最优的系统参数，其特征在于，该方法包括：（1）建立椭偏仪的系统模型，并将该椭偏仪系统模型整理成向量与向量点积的形式，从而得到包含椭偏仪系统参数的系统矩阵W；（2）计算该系统矩阵W在各个椭偏仪系统参数下的条件数；（3）计算每个系统参数下系统矩阵W的最大条件数与最小条件数的差值，并根据差值从大到小的顺序将对应的系统参数进行排序；（4）按照上述排序分别依次对椭偏仪的每个系统参数进行循环迭代优化，直至排列最靠前的系统参数的最小条件数值与前一次优化的该系统参数的最小条件数值的差值小于阈值，即完成优化，此时对应的各系统参数即为最优化的椭偏仪系统参数。