发明名称 |
一种预清洁式分片机 |
摘要 |
本实用新型涉及一种预清洁式分片机,用于对若干个层叠在一起的片体进行分离并传送至下一工序,包括:传送机构,其包括至少两个带轮、张紧在这些带轮上传送带;片体承托架,其具有承托片体的承托面,该承托面延伸至靠近传送面的位置;分片机构,设置在传送机构的前端,用于将上述若干层叠的片体逐一放置在传送带上;传送机构的侧部设置有清洁机构,清洁机构具有清洁毛刷,该清洁毛刷的刷毛与传送带之间的距离小于片体的厚度。本实用新型在传送带侧部设置清洁机构,当分拣后的硅片从清洁机构下方经过时,清洁机构得以对硅片的上表面进行预清洁,从而有效地为后续的超声波清洗提供更高的表面清洁度,节省了清洗的时间,也可以避免清洗液过快脏污。 |
申请公布号 |
CN203325846U |
申请公布日期 |
2013.12.04 |
申请号 |
CN201320247366.X |
申请日期 |
2013.05.06 |
申请人 |
张家港市超声电气有限公司 |
发明人 |
陈宏 |
分类号 |
H01L21/67(2006.01)I;B08B1/02(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/67(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种预清洁式分片机,用于对若干个层叠在一起的片体进行分离并传送至下一工序,包括:传送机构,其包括至少两个带轮、张紧在这些所述的带轮上传送带,所述的传送带具有用于传送片体的传送面;片体承托架,其具有承托所述的片体的承托面,该承托面延伸至靠近所述传送面的位置;分片机构,设置在所述的传送机构的前端,用于将上述若干层叠的片体逐一放置在所述的传送带上;其特征是:所述的传送带的侧部设置有清洁机构,所述的清洁机构具有清洁毛刷,该清洁毛刷的刷毛与所述的传送带之间的距离小于所述的片体的厚度。 |
地址 |
215618 江苏省苏州市张家港市金港大道1001号 |