显示面板用基板的制造装置

摘要

作为本发明所涉及的液晶面板（11）用的阵列基板（20）的制造装置，加热处理装置（40）具备：辊式输送机（搬运部）（41），其搬运玻璃基板（显示面板用基板）（GS）；加热处理室（43），其用于对由辊式输送机（41）搬运的玻璃基板（GS）进行加热处理；加热部（44），其配置在加热处理室（43）内，并且加热玻璃基板（GS）；内部空气循环部（47），其使加热处理室（43）内的空气循环；以及热交换部（48），其与内部空气循环部（47）连接，并且能与循环的空气之间进行热交换。

主权项

一种显示面板用基板的制造装置，具备：搬运部，其搬运显示面板用基板；加热处理室，其用于对由上述搬运部搬运的上述显示面板用基板进行加热处理；加热部，其配置在上述加热处理室内，并且加热上述显示面板用基板；内部空气循环部，其使上述加热处理室内的空气循环；以及热交换部，其与上述内部空气循环部连接，并且能与循环的空气之间进行热交换。