用于显示装置的基板键合设备和用于制造键合基板的方法

摘要

一种用于显示装置的基板键合设备，包括被构造为将承载基板键合至用于制造显示装置的基板的腔室单元；位于腔室单元的内部并被构造为支撑基板的第一表面板；位于腔室单元的内部并被构造为使承载基板与由第一表面板支撑的基板接触的支撑单元；和与腔室单元连接的压力调节单元，在使承载基板与基板接触来在承载基板和基板之间不使用粘附材料而使承载基板键合至基板时，压力调节单元在腔室单元的内部以多个步骤使真空压力从低真空压力改变为高真空压力。

主权项

一种用于显示装置的基板键合设备，所述基板键合设备包括：被构造为将承载基板键合至用于制造显示装置的基板的腔室单元；设置在所述腔室单元的内部并被构造为支撑所述基板的第一表面板；设置在所述腔室单元的内部并被构造为使所述承载基板与由第一表面板支撑的基板接触的支撑单元；和与所述腔室单元连接的压力调节单元，在使所述承载基板与所述基板接触来在所述承载基板和所述基板之间不使用粘附材料而使所述承载基板键合至所述基板时，所述压力调节单元在所述腔室单元的内部以多个步骤使真空压力从低真空压力改变为高真空压力。