一种ZnO薄膜晶体管的修饰及制备方法

摘要

本发明提供一种ZnO薄膜晶体管的修饰及制备方法。该修饰方法，包括以下步骤：1)配制ZnO前驱体溶液；2)把所述ZnO薄膜晶体管悬浮于该溶液中，再放入烘箱中反应，以在所述ZnO薄膜上生长一层ZnO修饰层，其中所述烘箱中的反应温度为75℃～90℃。该修饰方法不仅增加了ZnO薄膜晶体管输出电流和迁移率，而且制备过程简单、无需高温、可控性好，适合于基于柔性衬底的器件制备，为开发大面积柔性平板显示提供了一种新的途径。

主权项

一种ZnO薄膜晶体管的修饰方法，包括以下步骤：1）配制ZnO前驱体溶液，所述ZnO前躯体溶液由六水合硝酸锌和六次甲基四胺配制而成，其中六水合硝酸锌的摩尔浓度为10mM～100mM,六次甲基四胺浓度为10mM～100mM；2）把所述ZnO薄膜晶体管悬浮于该溶液中，再放入烘箱中反应，以在所述ZnO薄膜晶体管的ZnO薄膜上生长一层ZnO修饰层，其中所述烘箱中的反应温度为75℃～90℃。