| 发明名称 | 用CVD涂敷基板的装置与方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及采用CVD涂敷基板(14)的装置，特别是用金刚石或硅涂敷基板的方法，其中在外壳(10)中设置包括延伸的多个加热导体(2)的加热导体阵列，所述加热导体延伸在第一电极(1)和第二电极(8)之间，其中加热导体(2)通过连接到其一端的拉伸装置而各自保持拉紧。处于改善加热导体(2)的寿命的目的，本发明提出拉伸装置包括具有拉伸重量(G)的倾斜臂(5)，加热导体(2)连接到所述倾斜臂的第一端(E1)，而所述倾斜臂的第二端能够基本围绕水平轴(H)旋转地被支撑。 | ||
| 申请公布号 | CN102292795B | 申请公布日期 | 2013.12.04 |
| 申请号 | CN200980155264.1 | 申请日期 | 2009.11.13 |
| 申请人 | 迪亚康有限责任公司;塞梅康股份公司 | 发明人 | M.鲁弗;S.罗西瓦尔;C.巴雷斯;W.雷克特;O.莱莫;M.珀尔 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01)I;C23C16/27(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人 | 彭久云 |
| 主权项 | 一种采用CVD涂敷基板（14）的装置，特别是用金刚石或硅涂敷基板的装置，其中提供由多个加热导体（2）构成的加热导体阵列，所述多个加热导体（2）与第一电极（1）和第二电极（8）电连接，并且所述多个加热导体（2）纵向延伸且彼此相邻地设置在基本水平的平面内，所述装置的特征在于：每个所述加热导体（2）通过安装在其一端的拉伸单元而各自保持紧绷，所述拉伸单元包括具有拉伸重量（G）的旋转臂（5），所述加热导体（2）安装在所述旋转臂（5）的第一端（E1）上，所述旋转臂（5）的第二端（E2）能够基本围绕水平轴（H）旋转地被支撑。 | ||
| 地址 | 德国菲尔特 | ||