一种硅片直线交换装置及方法

摘要

本发明涉及光刻设备领域，尤其涉及一种硅片直线交换装置及方法，用于在工作台和外部装置之间传输物料，包括导轨；设置于所述导轨之上的第一滑块、第二滑块，所述第一、第二滑块能够沿所述导轨作交错往复运动；第一机械臂，所述第一机械臂通过机械臂转接件连接所述第一滑块；以及第二机械臂，所述第二机械臂连接所述第二滑块，所述第一机械臂、第二机械臂处于两个不同的相互平行的运动平面。本发明采用避障设计，使所述第一、第二机械臂在两个相互平行的平面内运动，实现两组机械臂对开，当第一机械臂与工作台交接硅片时，第二机械臂同时与机械手进行硅片交接，以上交接完成后，两组机械臂同时反向运动，进行下一交接，减少一半的运动交接时间。

主权项

一种硅片直线交换装置，用于在工作台和外部装置之间传输物料，其特征在于，包括导轨；设置于所述导轨之上的第一滑块、第二滑块，所述第一、第二滑块能够沿所述导轨作交错往复运动；第一机械臂，所述第一机械臂通过机械臂转接件连接所述第一滑块；以及第二机械臂，所述第二机械臂连接所述第二滑块，所述第一机械臂、第二机械臂处于两个不同的相互平行的运动平面。