发明名称 电镀式无铅凸点沉积
摘要 本发明提供了一种使用沉积在工件上形成金属特征的方法。该方法包括:在工件上提供用于电子器件的钎料的凸点下金属层,将基本上纯的锡层直接沉积到凸点下金属层,并且将锡银合金层沉积到在基本上纯的锡层上。
申请公布号 CN103430287A 申请公布日期 2013.12.04
申请号 CN201180059957.8 申请日期 2011.12.16
申请人 TEL内克斯有限公司 发明人 丹尼尔·L·古德曼;阿瑟·凯格勒;约翰内斯·基乌;刘震球
分类号 H01L21/228(2006.01)I 主分类号 H01L21/228(2006.01)I
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人 顾晋伟;全万志
主权项 一种使用沉积在工件上形成金属特征的方法,所述方法包括:在所述工件上提供用于电子器件的钎料的凸点下金属层;将基本上纯的锡层直接沉积到所述凸点下金属层;以及将锡银合金层沉积到所述基本上纯的锡层上。
地址 美国马萨诸塞州