着色陶瓷真空夹盘以及其制造方法

摘要

在本发明中，于载置面上吸附基板的着色陶瓷真空夹盘(2)是由着色陶瓷烧结体构成，其中，所述着色陶瓷烧结体包括55wt％～75wt％的氧化铝(Al2O3)、换算成氧化物(SiO2)至少为3wt％的Si、换算成氧化物(CaO)至少为0.4wt％的Ca、换算成氧化物(MgO)至少为0.4wt％的Mg、着色剂以及1％以下的杂质，并且，于载置面上通过借助研磨粒的喷砂处理而形成有支撑基板的多个销(4)与轮缘(6)，并对整个载置面实施借助球形粒子的喷丸处理。

主权项

一种陶瓷真空夹盘，于上表面吸附基板，其特征在于，所述陶瓷真空夹盘是由着色陶瓷烧结体构成，该着色陶瓷烧结体包括55wt％～75wt％的氧化铝、换算成SiO2至少为3wt％的Si、换算成CaO至少为0.4wt％的Ca、换算成MgO至少为0.4wt％的Mg、着色剂以及1％以下的杂质，并且，在所述上表面，通过借助研磨粒的喷砂处理而形成有支撑所述基板的多个销和至少部分包围所述多个销的轮缘，并对整个所述上表面实施有借助球形粒子的喷丸处理，当有光照射至所述上表面时，全反射率在360nm的光波长下为7％以下。