| 发明名称 | 一种像方标记承载装置及制造该承载装置的方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开一种像方标记承载装置，其特征在于，该承载装置包括第一层板与第二层板，该第一层板位于该第二层板的上方，该承载装置包括第一类型标记与第二类型标记，该第一类型标记位于该第一层板上，该第二层板在对应该第一类型标记之处设置一开口。 | ||
| 申请公布号 | CN103424994A | 申请公布日期 | 2013.12.04 |
| 申请号 | CN201210164215.8 | 申请日期 | 2012.05.25 |
| 申请人 | 上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司 | 发明人 | 朱婧怡 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I;G03F9/00(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人 | 王光辉 |
| 主权项 | 一种像方标记承载装置，其特征在于，所述承载装置包括第一层板与第二层板，所述第一层板位于所述第二层板的上方，所述承载装置包括第一类型标记与第二类型标记，所述第一类型标记位于所述第一层板上，所述第二层板在对应所述第一类型标记之处设置一开口。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号 | ||