| 发明名称 | 用于制造透明导电氧化物多层的方法 | ||
| 摘要 | 本申请涉及用于光电转换装置的多部件透明导电氧化锌层以及其制造方法。透明导电氧化锌层包括具有不同硼掺杂和浓度的至少一个基本层序列，所述基本层序列包括较薄的透明导电氧化锌较高硼掺杂层(72；74)和较厚的透明导电氧化锌较低硼掺杂层(73；75)。在本发明中，通过每个单独的导电氧化锌层(72，73；74，75)的掺杂密度基本上恒定，这通过有意地掺杂较厚的透明导电氧化锌较低硼掺杂层(73；75)来实现。任选地，在所述至少一个基本层序列与所述基底(71)或n掺杂硅层(46)之间可存在中间层，所述中间层设置在所述基底(71)或n掺杂硅层(46)上。其优点在于允许透明导电氧化锌层的有效的激光边缘隔离EIL烧蚀，同时在所述层中保持良好的电学和光学性能。 | ||
| 申请公布号 | CN103430317A | 申请公布日期 | 2013.12.04 |
| 申请号 | CN201280005735.2 | 申请日期 | 2012.01.13 |
| 申请人 | TEL太阳能公司 | 发明人 | 保罗·洛西奥;奥努尔·恰拉尔;彼得·雷希特施泰纳;珀赖因·卡鲁瓦;霍尔格·克赖斯特 |
| 分类号 | H01L31/0224(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I | 主分类号 | H01L31/0224(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 顾晋伟;全万志 |
| 主权项 | 一种用于光电转换装置的电极(42；47)，其包括至少一个具有变动硼掺杂浓度的基本层序列，所述基本层序列包括较薄的透明导电氧化锌较高硼掺杂层(72；74)和较厚的透明导电氧化锌较低硼掺杂层(73；75)，其特征在于，穿过每个单独导电氧化锌层(72，73；74，75)的所述掺杂密度是基本上恒定的。 | ||
| 地址 | 瑞士特鲁巴赫 | ||