一种上压轮组件

摘要

本发明公开了一种上压轮组件，包括：上压杆，其两端设有凸台，凸台上套有支撑圈，上压杆一端设有传动齿轮，套设在上压杆上的一组上压轮、设置在上压轮两端的轮圈，还包括与所述上压轮两端配合的卡圈，所述上压杆上间隔设置有卡圈槽，所述卡圈固定在卡圈槽中。本发明在上压轮两端设置与其配合的卡圈，既防止上压轮纵向移动，又能够在上压轮转动不灵活时由上压杆通过卡圈带动上压轮转动，进一步的，轮圈的外圆设有一柔性O型圈，以便更好地保护硅片或基板，提高生产质量，上压杆外围包裹耐腐蚀塑料，防止上压杆被处理液腐蚀，延长上压轮组件的使用寿命，降低维修成本。

主权项

一种上压轮组件，包括：上压杆（1），其两端设有凸台，凸台上套有支撑圈（2），上压杆一端设有传动齿轮（3），套设在上压杆上的一组上压轮（4）、设置在上压轮两端的轮圈（5），其特征在于，还包括与所述上压轮（4）两端配合的卡圈（6）， 所述上压杆（1）上间隔设置有卡圈槽（7），所述卡圈固定在卡圈槽中。