延长使用期限的纹理腔室部件与制造纹理腔室部件的方法

摘要

本发明提供了一种处理腔室部件及制造所述处理腔室部件的方法。处理腔室部件以本文所述的方式制造且所述处理腔室部件包括在腔室部件的表面上产生至少巨观纹理。巨观纹理由多个设计特征限定，所述多个设计特征在腔室部件的表面上以预限定取向布置。在一些实施例中，设计特征防止形成在特征之间限定的视线表面，以增强沉积在腔室部件上的膜的保持。

主权项

一种具有经图案化以增强沉积膜的保持的表面的制品，所述制品包含：处理腔室部件，所述处理腔室部件具有由设计特征形成的巨观纹理表面，所述设计特征经布置以防止横跨纹理表面形成视线表面。