一种溅射靶盘透磁率检测装置

摘要

一种溅射靶盘透磁率检测装置，其中，旋转辅助盘安装在旋转主盘内，旋转主盘包括支撑轴、定位块，支撑轴安装在旋转主盘上表面，相邻支撑轴间夹角为120°，且支撑轴上设置有卡槽，定位块安装在卡槽内；旋转辅助盘上安装有限位轴承、助力平面轴承及平移磁条，旋转辅助盘中间开有凹槽；磁钢安装凹槽内，霍尔探头设置在旋转主盘上方；蜗杆与步进电机连接，平移磁条与蜗杆连接；游标卡尺与旋转主盘连接，水平磁条移动手轮与平移磁条连接，工作台板上设置有直线导轨，旋转辅助盘安装在直线导轨上；另外，霍尔探头、水平数字显示表、步进电机及游标卡尺分别与控制器连接。本实用新型在实现高精度测量的同时，也提高了测试效率，有效降低人工劳动强度。

主权项

一种溅射靶盘透磁率检测装置，包括旋转主盘、旋转辅助盘、霍尔探头、移动步进蜗杆平台、蜗杆、游标卡尺、水平数字显示表、游标卡尺左固定块、游标卡尺右固定块、步进电机、探头支架座、直线导轨、控制器、水平磁条移动手轮、磁钢、助力平面轴承、限位轴承、工作台板；其特征在于，旋转辅助盘安装在旋转主盘内，旋转主盘包括支撑轴、定位块，支撑轴安装在旋转主盘上表面，相邻支撑轴间夹角为120°，且支撑轴上设置有卡槽，定位块安装在卡槽内；旋转辅助盘上安装有限位轴承、助力平面轴承及平移磁条，旋转辅助盘中间开有凹槽；磁钢安装凹槽内，霍尔探头设置在旋转主盘上方，并与探头支架座连接；移动步进蜗杆平台上安装有蜗杆和步进电机，蜗杆与步进电机连接，平移磁条与蜗杆连接；游标卡尺两端设置有游标卡尺左固定块及游标卡尺右固定块，游标卡尺与旋转主盘连接，水平磁条移动手轮与平移磁条连接，工作台板上设置有直线导轨，旋转辅助盘安装在直线导轨上；另外，霍尔探头、水平数字显示表、步进电机及游标卡尺分别与控制器连接。