发明名称 |
丝线导引器和激光烧蚀系统 |
摘要 |
本实用新型公开了丝线导引器和激光烧蚀系统。本实用新型描述用于形成丝线导引器(200)的方法。所述方法包括:相对于激光源布置圆柱状单元(210),其中圆柱状单元(210)包括外圆周表面;且通过将由激光源产生的激光束导向到圆柱状单元(200)的外圆周表面以在圆柱状单元(210)内形成圆周凹槽(220),而形成待用于丝锯装置(100)的丝线导引器(200)。另外,本实用新型描述丝线导引器和用于在丝线导引器中形成凹槽的系统。 |
申请公布号 |
CN203317580U |
申请公布日期 |
2013.12.04 |
申请号 |
CN201320265551.1 |
申请日期 |
2013.05.15 |
申请人 |
应用材料瑞士有限责任公司 |
发明人 |
C·佐米尼;类维生 |
分类号 |
B28D5/04(2006.01)I;B23K26/36(2006.01)I |
主分类号 |
B28D5/04(2006.01)I |
代理机构 |
上海专利商标事务所有限公司 31100 |
代理人 |
侯颖媖 |
主权项 |
一种用于丝锯装置(100)的丝线导引器(112;114;116;118;200),所述丝锯装置(100)包括用于所述丝线导引器中的凹槽的标称尺寸,所述丝线导引器包括:圆柱状单元(210;410;510;610;710;810;910),包括外圆周表面(415;515;615;715);以及多个凹槽(220;420;520;620;720;820;920),通过激光烧蚀形成在所述圆柱状单元(210;410;510;610;710;810;910)的所述外圆周表面(415;515;615;715)内,其中每个凹槽(220;420;520;620;720;820;920)通过至少一个实际尺寸(430;440;450;460;470)来定义;其中每个所述凹槽(221)的所述实际尺寸(430;440;450;460;470)与所述标称尺寸(430;440;450;460;470)具有小于约5%的偏差。 |
地址 |
瑞士洛桑 |