发明名称 CARBON FILM AND METHOD FOR PRODUCING THE SAME
摘要
申请公布号 EP2298437(A4) 申请公布日期 2013.12.04
申请号 EP20090759861 申请日期 2009.04.23
申请人 NGK INSULATORS, LTD. 发明人 ICHIKAWA, AKIMASA;TAKENO, SHOGO;UCHIKAWA, TETSUYA;SAKAI, TETSUYA;SUZUKI, HIDEYUKI
分类号 B01D71/02;B01D53/22;B01D61/36;B01D63/06;B01D67/00;B01D69/02;B01D69/08;B01D69/12 主分类号 B01D71/02
代理机构 代理人
主权项
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