发明名称 |
一种基于温度可监控的磁悬浮抛光装置 |
摘要 |
一种基于温度可监控的磁悬浮抛光装置,涉及一种化学机械抛光设备。设有底座、防水罩、抛光盘、电热丝、导电环、温控器、计算机、弹力电磁条圈、接收磁条圈、止浮轨、工件夹具、温度传感器、无线接收模块和抛光液添加装置;防水罩绕设于底座上端周边;抛光盘固于防水罩上端,底部设有涡状凹槽;电热丝嵌于涡状凹槽内,电热丝与温控器电连接,温控器与计算机连接,弹力电磁条圈固于底座上表面,接收磁条圈固于抛光盘底面,弹力电磁条圈与接收磁条圈的磁性相同,止浮轨固于底座上且压住弹力电磁条圈,传感器设于夹具周边,传感器上设有无线传输模块,无线传输模块与设于计算机上的无线接收模块无线信号连接,抛光液添加装置设于抛光盘侧边上方。 |
申请公布号 |
CN103419121A |
申请公布日期 |
2013.12.04 |
申请号 |
CN201310347476.8 |
申请日期 |
2013.08.09 |
申请人 |
厦门大学 |
发明人 |
朱睿;吴沿鹏;郭隐彪;叶卉 |
分类号 |
B24B37/04(2012.01)I;B24B37/34(2012.01)I;B24B49/14(2006.01)I;H01L21/304(2006.01)I |
主分类号 |
B24B37/04(2012.01)I |
代理机构 |
厦门南强之路专利事务所(普通合伙) 35200 |
代理人 |
刘勇 |
主权项 |
一种基于温度可监控的磁悬浮抛光装置,其特征在于,设有底座、防水罩、抛光盘、电热丝、导电环、温控器、计算机、弹力电磁条圈、接收磁条圈、止浮轨、工件夹具、温度传感器、无线接收模块和抛光液添加装置;防水罩绕设于底座上端周边,抛光盘固于防水罩上端,抛光盘底部设有涡状凹槽,电热丝嵌于涡状凹槽内,电热丝通过导电环与温控器电连接,温控器与计算机连接,弹力电磁条圈固于底座上表面,接收磁条圈固于抛光盘底面,弹力电磁条圈与接收磁条圈之间设有间距且上下对应,弹力电磁条圈与接收磁条圈的磁性相同,止浮轨固于底座上且压住弹力电磁条圈,温度传感器设于工件夹具周边,温度传感器上设有无线传输模块,无线传输模块与设于计算机上的无线接收模块无线信号连接,抛光液添加装置设于抛光盘侧边上方。 |
地址 |
361005 福建省厦门市思明南路422号 |