减少电路寄生电阻的结构和方法

摘要

本发明提供减少电路寄生电阻的结构和方法，以减少寄生电阻对电路性能的影响；该减少电路寄生电阻的结构，包括锯齿状通孔链，所述该结构可以减少通孔电阻对电路性能的影响。

主权项

减少电路寄生电阻的结构，包括有源区、栅极和锯齿状通孔链，其特点在于，所述锯齿状通孔链为锯齿状，所述锯齿状通孔链位于两个相邻的并联场效应晶体管之间，所述锯齿状通孔链中任意一个通孔与邻近的其中一个栅之间的距离为设计规则最小值，所述锯齿状通孔链中距离最近的两个通孔间的最小距离为设计规则最小值。