氨气的回收方法以及使用其的氨气的再利用方法

摘要

本发明涉及氨气的回收方法以及使用其的氨气的再利用方法，提供可从废气中高效且容易地将氨气回收并且再利用的方法,该废气由氮化镓类化合物半导体的制造工序排出，氨气含有率低。将废气进行过滤器过滤而去除该废气中所含的固体化合物，然后进行加压处理以及基于热泵的冷却处理，将该废气中所含的氨气液化而与氢气和氮气分离，将氨气回收。另外，将所回收的液氨气化，与和该氨气不同的粗氨气混合，然后将该混合气体进行精制而供给于氮化镓类化合物半导体的制造工序。

主权项

一种氨气的回收方法，其特征在于：将氮化镓类化合物半导体的制造工序中排出的包含氨气、氢气、氮气以及固体化合物的废气进行过滤器过滤，去除该废气中所含的固体化合物，然后通过对去除后的废气进行加压处理以及基于热泵的冷却处理，将所处理的废气中所含的氨气液化而与氢气和氮气分离，将液化的氨气回收。