一种硅片周转清洗盒

摘要

本实用新型公开了一种硅片周转清洗盒，包括盒体,在所述盒体相对的两端分别设有向下延伸的翻边，所述盒体内置有可拆卸的托架，所述托架相对的两端高出所述盒体并向外及向下延伸形成用于卡合所述翻边的卡合槽，所述翻边卡合于所述卡合槽内；所述托架的上表面设有橡胶垫。本实用新型在使用时，通过所述翻边和所述卡合槽相卡合将托架固定于盒体内，该操作方便快捷。由于托架内设有一层橡胶垫，在将硅片放置在托架时，橡胶垫和硅片之间产生的摩擦力，阻止了硅片因滑倒进而碎裂，也避免了硅片因滑倒入盒体底部而破碎的情况。

主权项

一种硅片周转清洗盒，包括盒体,其特征在于：在所述盒体相对的两端分别设有向下延伸的翻边，所述盒体内置有可拆卸的托架，所述托架相对的两端高出所述盒体并向外及向下延伸形成用于卡合所述翻边的卡合槽，所述翻边卡合于所述卡合槽内；所述托架的上表面设有橡胶垫。