带电粒子束透镜

摘要

本发明涉及一种带电粒子束透镜。带电粒子束透镜包括板状阳极、板状阴极和设置在阳极与阴极之间的绝缘体。绝缘体、阳极和阴极具有带电束从其中通过的通道部分。高电阻膜在绝缘体的形成通道部分的内侧面或绝缘体的最外侧面上形成，并且，阳极和阴极通过高电阻膜被电连接在一起。阳极和高电阻膜、阴极和高电阻膜分别包含相同的金属或半导体元素并具有不同的电阻值。这抑制由于阳极和阴极与高电阻膜之间的界面处或导电膜与高电阻膜之间的界面处的电阻增加和连接不良导致的电场集中，由此抑制放电的产生。

主权项

一种带电粒子束透镜，包括：至少一个板状阳极；至少一个板状阴极；和设置在所述阳极与所述阴极之间的至少一个绝缘体，其中，所述绝缘体、所述阳极和所述阴极具有带电束从其中通过的至少一个通道部分，其中，高电阻膜被形成在所述绝缘体的形成所述通道部分的内侧面和所述绝缘体的最外侧面中的至少一个上；所述阳极和所述阴极通过所述高电阻膜被电连接在一起，并且，所述阳极和所述高电阻膜、所述阴极和所述高电阻膜分别包含相同的金属或半导体元素并具有不同的电阻值。