| 摘要 |
本创作涉及一种应用于晶圆/光罩载具之气阀结构及应用彼之光罩传送盒，特别系指一种可利用重量启闭的应用于晶圆/光罩载具之气阀结构，其系由一下阀体及一上阀体相对盖合而成，且上、下阀体的周缘侧壁形成有相对之通孔，又上、下阀体内具有一可贴抵于下阀体底缘之浮动阀块，而浮动阀块底面具有一导气部，透过前述的设计，使载具能在置于充气座上时，可利用自身重量让气阀之浮动阀块被推动，让气体可经由导气部、通孔进入载体内部，且在载具移离充气座时，气阀之浮动阀块可利用弹性件回复预力及载具内部气压而复位密合，有效延长载具内洁净气体流失的时间，增加载具移动作业的灵活性。 |
