光阻组成物

摘要

提供一种不仅提高光阻调制时之溶解性、显像时之光阻膜密着性之特性，提升光阻安定性且安全性亦优异的光阻组成物。;一种光阻组成物，其系包含光阻成分与有机溶剂之光阻组成物，其特征为包含选自(a)由羧酸部分之碳数为2~6之多价羧酸酯所构成的羟基多价羧酸酯化合物群、(b)由羧酸部分之碳数为2~6之乙醯氧基羧酸酯所构成的乙醯氧基羧酸酯化合物群、及(c)羧酸部分之碳数为2~6之烷氧基羧酸酯所构成的烷氧基羧酸酯化合物群中至少1种之有机溶剂作为该有机溶剂。