一种处理矽晶板切割废弃物的制程及装置

摘要

一种处理矽晶板切割废弃物的制程及装置，系由两阶段的连续制程及利用装置所组成，整个制程包含第一阶段的固液分离制程，以及第二阶段的液液分离制程；第一阶段的固液分离制程先将废弃物进行固液分离，固液分离后液体废弃物再利用一个三阶段的连续性的真空蒸馏制程，包括一个二阶段的薄膜蒸发制程，以及一个一阶段的分子蒸馏制程，将液体废弃物中所含的废水、聚乙二醇、以及切削油(废油)加以精馏、分离、及回收；整个制程不仅可以达到资源回收再利用的目标，且可避免二次污染的产生。