| 摘要 |
本发明系提出一种物体表面与内部界面之造影与量测装置，其所使用之装置包含一宽频波源，宽频波源发射一宽频入射波；一分波结构分离宽频入射波为一第一入射波束、一第二入射波束与一第三入射波束，一待测物照射第一入射波束并反射一量测波束；一波延迟装置接收第二入射波束并反射一参考波束；一反射装置接收第三入射波束并反射一校正波束；一感测器接收量测波束与参考波束之一第一干涉讯号以及参考波束与校正波束之一第二干涉讯号。藉由宽频入射波以不破坏物体的方式，造影与量测物体表面与内部界面的形貌，并藉由校正波束以增加物体表面与内部界面造影与量测之准确性。 |
