运送模组

摘要

本发明旨在提供一种可提高运送室刚性之运送模组。;其中于内部可呈真空之运送室14设有可开闭之盖部22。于运送室14内搭载有机械臂12。机械臂12中于运送被处理体W之机构一部分具有中空之旋转轴36、37。于机械臂12之中空之旋转轴36、37内配置有支持封闭状态之盖部22之柱部28。因大气压作用于盖部22之负荷由柱部28负担，故可减少盖部22之壁厚，可实现制造成本之削减。且机械臂使被处理体W在旋转轴36、37周围回旋，或沿放射方向移动时，柱部28亦不造成干扰。