发明名称 |
放电灯、接续用电缆、光源装置及曝光装置 |
摘要 |
本发明系一种对于放电灯之金属口构件的冷却作用大的光源装置。藉由在电力电缆(33A)内收纳有送风用配管(35A)之连结电缆(57)将电源(32)及送风装置(34)侧之连接(41)与放电灯(1)之金属口侧连接器(52)相连结。透过连结电缆(57)之电力电缆(33A)、金属口侧连接器(52)及流路弯曲构件(51),将来自电源(32)的电力供给至金属口部(28),透过连结电缆(57)之送风用配管(35A)、金属口侧连接器(52)及流路弯曲构件(51)内之送风路,将来自送风装置(34)的冷风供给至金属口部(28)的沟部(28b)。 |
申请公布号 |
TWI417932 |
申请公布日期 |
2013.12.01 |
申请号 |
TW097113078 |
申请日期 |
2008.04.10 |
申请人 |
尼康股份有限公司 日本 |
发明人 |
菊池孝幸;北野博 |
分类号 |
H01J61/52;G03F7/20;F21V29/00 |
主分类号 |
H01J61/52 |
代理机构 |
|
代理人 |
陈传岳 台北市大安区仁爱路3段136号13楼;郭雨岚 台北市大安区仁爱路3段136号13楼 |
主权项 |
|
地址 |
日本 |