发明名称 放电灯、接续用电缆、光源装置及曝光装置
摘要 本发明系一种对于放电灯之金属口构件的冷却作用大的光源装置。藉由在电力电缆(33A)内收纳有送风用配管(35A)之连结电缆(57)将电源(32)及送风装置(34)侧之连接(41)与放电灯(1)之金属口侧连接器(52)相连结。透过连结电缆(57)之电力电缆(33A)、金属口侧连接器(52)及流路弯曲构件(51),将来自电源(32)的电力供给至金属口部(28),透过连结电缆(57)之送风用配管(35A)、金属口侧连接器(52)及流路弯曲构件(51)内之送风路,将来自送风装置(34)的冷风供给至金属口部(28)的沟部(28b)。
申请公布号 TWI417932 申请公布日期 2013.12.01
申请号 TW097113078 申请日期 2008.04.10
申请人 尼康股份有限公司 日本 发明人 菊池孝幸;北野博
分类号 H01J61/52;G03F7/20;F21V29/00 主分类号 H01J61/52
代理机构 代理人 陈传岳 台北市大安区仁爱路3段136号13楼;郭雨岚 台北市大安区仁爱路3段136号13楼
主权项
地址 日本