电子线装置、电子线检查装置及曝光条件决定方法

摘要

本发明系提供电子线装置、电子线检查装置及曝光条件决定方法，该电子线装置系具备有：使电子束对着试料照射之装置；将藉由该电子束之对前述试料的照射而获得前述试料之表面资讯的电子放大投影并使之成像于检测器的装置；以及将成像于前述检测器之前述电子合成为影像的装置，其中，前述电子束与前述电子，系藉由利用电场与磁场之偏向器加以分离，前述电子到达前述检测器的比率为4至40%。