多调式光罩之评估方法

摘要

本发明系提供一种多调式光罩之评估方法，其系获取多调式光罩之转印图案在曝光条件下之空间影像资料，并对该空间影像资料决定特定之实效透射率之临限值。然后，使用上述临限值将上述空间影像资料二值化，并使用该经二值化之空间影像资料，评估上述转印图案。