| 摘要 |
本发明系关于一种无遮罩曝光装置、以及使用此装置制造用于显示器之基板的方法。在本发明中，一基板22被置于一能够在水平和垂直方向上移动的扫描平台20上。同时，一用于产生曝光时可利用之光线的光学单元30被置于前述基板22之上方。已穿过光学单元30的光被传送至一数位微镜器单元40，该数位微镜器单元40包括数个数位微镜器42，用于有选择性地将光反射，以在基板22上形成一图案。数位微镜器42被排列数行，依此方式，使位于同一行的数位微镜器42以一预定距离相互分离，位于不同行的数位微镜器42在一末端部分相互部分重叠。当数位微镜器42对基板22进行扫描时，扫描痕迹62间断地在两直线上形成。本发明在基板曝光过程中，扫描痕迹间断地形成于基板上，因此，当观看显示器时，使用者将不会看见扫描痕迹，而达到舒适的观看效果。 |
