感测器、台及微影装置

摘要

本发明揭示一种用于一浸没系统之感测器。该感测器包含：一感测器件、一透明层及一不透明图案化层。该感测器件经组态以感测一辐射光束之一属性。该透明层经组态以允许一辐射光束传递通过。该透明层覆盖该感测器件。该不透明图案化层经组态以将一图案赋予至该辐射光束。一开口处于该图案化层中，一充填材料位于该开口中。该充填材料对该辐射光束系透明的，且具有类似于该透明层之折射率的一折射率。