快速气体转换电浆处理设备

摘要

提供一具有电浆限制区之电浆室，该电浆限制区设有一电极。一用于提供第一气体与第二气体之气体分配系统系连接至该电浆室，其中该气体分配系统可实质上在少于一秒之时期内以另一气体取代该电浆区中之一气体。用于在第一频率范围中提供电力至该电极之第一频率调谐RF电源系电连接至该至少一电极，其中该第一频率调谐RF电源能够使经反射之RF电源减至最小。提供用于在该第一频率范围之外的第二频率范围中提供电力至该电浆室之第二频率调谐RF电源，其中该第二频率调谐RF电源能够使经反射之RF电源减至最小。