具有介电间隔环之边缘环总成

摘要

一种边缘环总成围绕一电浆蚀刻室中之一基板支撑表面。该边缘环总成包含一边缘环及一介电间隔环。该介电间隔环围绕该基板支撑表面并被该边缘环以径向方向围绕，其经配置以使该边缘环与底板绝缘。在该基板支撑表面周围并入该边缘环总成可减少一基板之下侧及边缘上聚合物之聚积，并提高该基板之电浆蚀刻均一性。