于基板上直接形成太阳能发电薄膜之太阳能电池

摘要

本发明所揭示之太阳能电池，系包含形成于基材上之半导体薄膜、形成于半导体薄膜上之透明导电膜、及覆盖透明导电膜的上面之氮化物系之水分扩散防止膜。水分扩散防止膜较佳系由氮化矽膜与碳氮化矽膜之至少一者所构成。