密闭空间之进气方法、气体供应装置及带电粒子束成像系统

摘要

一种密闭空间之进气方法系被揭露，在进气过程开始时，充进气体的流速由零开始，接着流速以有差别的增加率增加至少一段时期，当密闭空间内部达到一预定义的饱和压力时，充进气体的流速维持或增加以加速进气过程。