电容式感测器

摘要

本发明是一种具备有固定电极(6)、及介隔着梁部(4)可动地支撑在锚部(4)之可动电极(5)，并且令固定电极(6)与可动电极(5)隔着间隙，相互对向地配置来构成检测部，将因应于该间隙的大小之电容检测出来，以将特定的物理量检测出来之电容式感测器(1)，在被连接到梁部(4)的锚部(3)之侧的端部(4a)、和被连接到可动电极(5)之侧的端部(4b)当中的至少任何一方，设置缓和应力之应力缓和部(30)。