基板贴合装置及基板贴合方法

摘要

本发明之目的系提供一种可适当地进行上基板与下基板之水平方向之位置调整的基板贴合装置及基板贴合方法。;基板贴合装置，于仅于下基板形成定位标记，而于上基板未形成定位标记之情形，藉由检测上基板之边而导出该上基板之水平方向之中心位置及旋转角度，进而根据该上基板之水平方向之中心位置及旋转角度、以及下基板之水平方向之中心位置及旋转角度，使下基台于XY方向移动及旋转移动，藉此对准上基板与下基板之中心位置，且对准各边、以成为可贴合之状态进行对位。