用于光阻之抗反射组合物

摘要

本发明系关于一种用于光阻层之抗反射涂料组合物，其包含聚合物、交联剂及酸产生剂，其中该聚合物包含至少一种具有结构1之单元， (1)其中：A为非芳族键联部分；R'及R"系独立地选自氢、Z及W－OH，其中Z为(C1－C20)烃基部分且W为(C1－C20)烃基键联部分；且Y'独立地为(C1－C20)烃基键联部分。;本发明进一步系关于一种用于使该抗反射涂料组合物成像之方法。