真空设备之热传递装置及其控制方法

摘要

本发明系为一种真空设备之热传递装置及其控制方法，其中热传递装置包括：基座、第一导热层、第二导热层、第一温度调节装置、以及第二调节装置。第一导热层设置于基座上，并且热结合于第一温度调节装置，而第二导热层设置于第一导热层上，并与第一导热层之间形成有一间隙，又热结合于第二温度调节装置。藉由在降温过程时，将导热介质充填于间隙中，用以增加第一导热层及第二导热层间之热传递速度进而提高降温速度，另外在升温过程时移除间隙中之导热介质，则可以提高加热速度。