镀膜件及其制造方法

摘要

本发明提供一种镀膜件，包括基体及藉由磁控溅射镀膜法形成于基体上的Si-B-C-N陶瓷层，该Si-B-C-N陶瓷层为非晶态层，该Si-B-C-N陶瓷层中Si的质量百分含量为30~60%，B的质量百分含量为10~20%，C的质量百分含量为10~20%，N的质量百分含量为20~30%。该镀膜件具有良好的高温抗氧化性。本发明还提供一种上述镀膜件的制造方法。