处理气流的方法

摘要

本发明描述一种处理含有矽烷或其他含矽气体之气流的方法，其中将此气流输送至液环泵或螺旋机构泵，亦于此泵中提供用于氧化此泵中之含矽气体的氧化剂及用于在此泵中形成液环或间歇性冲洗之液体。自该泵排出含有该液体及氧化该含矽气体之副产物的液体流。